背面曝光技术制作沙漏状X射线组合折射透镜

朱艳青; 梁静秋; 梁中翥; 黄鑫华; 乐孜纯; 伊福廷; 侯凤杰; 黄万霞; 董文; 王维彪; 王志立; 崔乃迪

doi:10.7498/aps.58.1526

摘要
在分析沙漏状X射线组合折射透镜（X-ray compound refractive lens，XCRL）的折射聚焦理论的基础上，设计并利用背面曝光技术制作了SU-8材料的沙漏状XCRL，该技术在保证图形准确性的同时减少了工艺步骤，使制作更加简便易行.在10?keV单色X射线辐射下，对制作的透镜进行了聚焦性能的实验测试，结果表明，所制作的透镜较好地实现了一维聚焦.

关键词:
组合折射透镜 /

背面曝光 /

沙漏状 /

SU-8
Abstract
Using back-mask exposure technology，the hourglass-shaped X-ray compound refractive lens （XCRL） was made. Firstly，the theory of the refractive focusing of the hourglass-shaped XCRL was analyzed. Then the hourglass-shaped XCRL was manufactured using back-mask exposure technology for the first time，which avoids two-time masking and reduces the transfer times of the figure. The refractive focusing performance of the lens was tested with 10?keV monochromatic X-ray. The experimental results indicated that it has good focusing performance in one dimension, which is in general coincident with the calculated results.

Keywords:
compound refractive lens （CRL） /

back-mask exposure /

hourglass shape /

SU-8
作者及机构信息
朱艳青³,

梁静秋²,

梁中翥²,

黄鑫华³,

乐孜纯¹,

伊福廷⁴,

侯凤杰⁴,

黄万霞⁴,

董文¹,

王维彪²,

王志立⁴,

崔乃迪³

(1)浙江工业大学，杭州 310032; (2)中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，长春 130033; (3)中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，长春 130033；中国科学院研究生院，北京 100049; (4)中国科学院高能物理研究所，北京 100049

基金项目: 国家自然科学基金（批准号：60672014 ），北京正负电子对撞机国家实验室用户项目资助的课题.
Authors and contacts
Zhu Yan-Qing³,

Liang Jing-Qiu²,

Liang Zhong-Zhu²,

Huang Xin-Hua³,

Le Zi-Chun¹,

Yi Fu-Ting⁴,

Hou Feng-Jie⁴,

Huang Wan-Xia⁴,

Dong Wen¹,

Wang Wei-Biao²,

Wang Zhi-Li⁴,

Cui Nai-Di³

(1)浙江工业大学，杭州 310032; (2)中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，长春 130033; (3)中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，长春 130033；中国科学院研究生院，北京 100049; (4)中国科学院高能物理研究所，北京 100049
参考文献

施引文献

[1]	罗宇轩, 程用志, 陈浮, 罗辉, 李享成. 基于沙漏形人工表面等离激元和交指电容结构的双频滤波器设计. , 2023, 72(4): 044101. doi: 10.7498/aps.72.20221984
[2]	贺芷椰, 张彦东, 唐春华, 李军利, 李四维, 于斌. 中继透镜分辨率在像素编码曝光成像中对图像重构质量的影响分析. , 2023, 72(2): 024201. doi: 10.7498/aps.72.20221588
[3]	姚春霞, 何其利, 张锦, 付天宇, 吴朝, 王山峰, 黄万霞, 袁清习, 刘鹏, 王研, 张凯. 免分析光栅一次曝光相位衬度成像方法. , 2021, 70(2): 028701. doi: 10.7498/aps.70.20201170
[4]	孙宏祥, 方欣, 葛勇, 任旭东, 袁寿其. 基于蜷曲空间结构的近零折射率声聚焦透镜. , 2017, 66(24): 244301. doi: 10.7498/aps.66.244301
[5]	张昱, 韦艳芳, 彭政, 蒋亦民, 段文山, 厚美瑛. 倾斜沙漏流与颗粒休止角研究. , 2016, 65(8): 084502. doi: 10.7498/aps.65.084502
[6]	孟伟东, 孙丽存, 翟影, 杨瑞芬, 普小云. 用液芯柱透镜快速测量液相扩散系数-折射率空间分布瞬态测量法. , 2015, 64(11): 114205. doi: 10.7498/aps.64.114205
[7]	朱幸福, 梁斌明, 湛胜高, 陈家璧, 庄松林. 负折射平板透镜景深特性仿真分析. , 2014, 63(13): 134202. doi: 10.7498/aps.63.134202
[8]	付明磊, 乐孜纯, 周寒青, 张明, 全必胜, 王华, 毛成文, 王昌辉, 沈小燕. 级联式平面抛物面型X射线组合折射透镜的设计与制作. , 2014, 63(19): 194103. doi: 10.7498/aps.63.194103
[9]	韩伟静, 魏清泉, 李运涛, 周晓光, 俞育德. 一种基于SU8聚合物的基因测序芯片. , 2013, 62(14): 148701. doi: 10.7498/aps.62.148701
[10]	侯立凯, 任玉坤, 姜洪源. 表面镀金SU-8微柱的低频电动旋转特征. , 2013, 62(20): 200702. doi: 10.7498/aps.62.200702
[11]	许强, 苗润才, 张亚妮. 六角点阵蜂窝状包层光子晶体光纤中的高双折射负色散效应. , 2012, 61(23): 234210. doi: 10.7498/aps.61.234210
[12]	延凤平, 刘鹏, 谭中伟, 陶沛琳, 李琦, 彭万敬, 冯亭, 谭思宇. 基于组合透镜与渐变折射率光纤改进激光器耦合效率的新方法. , 2012, 61(16): 164202. doi: 10.7498/aps.61.164202
[13]	乐孜纯, 张明, 董文, 全必胜, 刘魏, 刘恺. 制作工艺误差对X射线组合折射透镜聚焦性能影响研究. , 2010, 59(9): 6284-6289. doi: 10.7498/aps.59.6284
[14]	乐孜纯, 董文, 刘魏, 张明, 梁静秋, 全必胜, 刘恺, 梁中翥, 朱佩平, 伊福廷, 黄万霞. 抛物面型X射线组合折射透镜聚焦性能的理论与实验研究. , 2010, 59(3): 1977-1984. doi: 10.7498/aps.59.1977
[15]	张波, 王智. 二维空气孔型光子晶体负折射平板透镜的减反层. , 2007, 56(3): 1404-1408. doi: 10.7498/aps.56.1404
[16]	王风, 刘德森, 蒋小平, 周素梅. 离子交换引起的GRIN棒透镜大折射率差值分析. , 2007, 56(10): 5890-5894. doi: 10.7498/aps.56.5890
[17]	徐宏来, 张鹏, 赵建林, 高瑀含, 叶知隽, 杨德兴. 会聚激光扫描铌酸锂晶体写入光波导时的最佳曝光间距. , 2006, 55(6): 3100-3105. doi: 10.7498/aps.55.3100
[18]	刘艳, 郑凯, 谭中伟, 李彬, 陈勇, 宁提纲, 简水生. 非对称单侧曝光切趾使啁啾光纤光栅获得优化性能. , 2006, 55(11): 5859-5865. doi: 10.7498/aps.55.5859
[19]	赖云忠, 梁九卿. 哈密顿算符是SU(1,1)和SU(2)算子含时线性组合量子系统的时间演变及厄密不变量. , 1996, 45(5): 738-746. doi: 10.7498/aps.45.738
[20]	朱重远. SU₆⁽¹⁾×SU₃⁽²⁾模型及SU₈模型中强子的次强质量分裂和新粒子的质量关系. , 1975, 24(5): 351-365. doi: 10.7498/aps.24.351

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