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单层SiO2物理膜与化学膜激光损伤机理的对比研究

陈习权 祖小涛 郑万国 蒋晓东 吕海兵 任 寰 张艳珍 刘春明

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单层SiO2物理膜与化学膜激光损伤机理的对比研究

陈习权, 祖小涛, 郑万国, 蒋晓东, 吕海兵, 任 寰, 张艳珍, 刘春明

Experimental research of laser-induced damage mechanism of the sol-gel SiO2 and IBSD SiO2 thin films

Chen Xi-Quan, Zu Xiao-Tao, Zheng Wan-Guo, Jiang Xiao-Dong, Lü Hai-Bing, Ren Huan, Zhang Yan-Zhen, Liu Chun-Ming
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-07-10
  • 修回日期:  2005-07-25
  • 刊出日期:  2006-03-20

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