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a-Si:H/a-SiNx:H超晶格薄膜的光学性质

王志超 刘湘娜 冯小梅 耿晰昇

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a-Si:H/a-SiNx:H超晶格薄膜的光学性质

王志超, 刘湘娜, 冯小梅, 耿晰昇

OPTICAL PROPERTIES OF THE a-Si:H/a-SiNx:H SUPERLATTICE FILMS

WANG ZHI-CHAO, LIU XIANG-NA, FENG XIAO-MIE, GENG XI-SHENG
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出版历程
  • 收稿日期:  1987-03-30
  • 刊出日期:  1988-01-05

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