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不同含氮量的a-Si:H/a-SiNx:H超晶格界面性质的研究

朱美芳 宗军 张秀增

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不同含氮量的a-Si:H/a-SiNx:H超晶格界面性质的研究

朱美芳, 宗军, 张秀增

THE EFFECTS OF NITROGEN CONTENT OF a-SiNx:H ON THE INTERFACE PROPERTIES IN a-Si:H/a-SiNx:H SUPERLATTICES

ZHU MEI-FANG, ZONG JUN, ZHANG XIU-ZEN
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出版历程
  • 收稿日期:  1990-03-14
  • 修回日期:  1990-06-20
  • 刊出日期:  1991-01-05

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