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二维光栅与周期性缝隙阵列组合薄膜结构的杂散光抑制

于淼 高劲松 张建 徐念喜

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二维光栅与周期性缝隙阵列组合薄膜结构的杂散光抑制

于淼, 高劲松, 张建, 徐念喜

Suppression of the stray light of 2-dimensional gratings combined with an array of periodic slit

Yu Miao, Gao Jin-Song, Zhang Jian, Xu Nian-Xi
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-06-20
  • 修回日期:  2013-07-13
  • 刊出日期:  2013-10-05

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