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溶液法铝诱导晶化制备多晶硅薄膜

罗翀 孟志国 王烁 熊绍珍

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溶液法铝诱导晶化制备多晶硅薄膜

罗翀, 孟志国, 王烁, 熊绍珍

Preparation of poly-slicon thin film by aluminum induced crystallization based on Al-salt solution

Luo Chong, Meng Zhi-Guo, Wang Shuo, Xiong Shao-Zhen
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-06-19
  • 修回日期:  2009-03-12
  • 刊出日期:  2009-09-20

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