| [1] |
陈扶, 唐文昕, 于国浩, 张丽, 徐坤, 张宝顺. U型槽刻蚀工艺对GaN垂直沟槽型金属-氧化物-半导体场效应晶体管电学特性的影响.
,
2020, 69(9): 098501.
doi: 10.7498/aps.69.20191850
|
| [2] |
梁琦, 王如志, 杨孟骐, 王长昊, 刘金伟. Al2O3衬底无催化剂生长GaN纳米线及其光学性能.
,
2020, 69(8): 087801.
doi: 10.7498/aps.69.20191923
|
| [3] |
艾立强, 张相雄, 陈民, 熊大曦. 类金刚石薄膜在硅基底上的沉积及其热导率.
,
2016, 65(9): 096501.
doi: 10.7498/aps.65.096501
|
| [4] |
谭再上, 吴小蒙, 范仲勇, 丁士进. 热退火对等离子体增强化学气相沉积SiCOH薄膜结构与性能的影响.
,
2015, 64(10): 107701.
doi: 10.7498/aps.64.107701
|
| [5] |
姜金龙, 黄浩, 王琼, 王善民, 魏智强, 杨华, 郝俊英. 沉积温度对钛硅共掺杂类金刚石薄膜生长、结构和力学性能的影响.
,
2014, 63(2): 028104.
doi: 10.7498/aps.63.028104
|
| [6] |
杨发展, 沈丽如, 王世庆, 唐德礼, 金凡亚, 刘海峰. 等离子体增强化学气相沉积法制备含氢类金刚石膜的紫外Raman光谱和X射线光电子能谱研究.
,
2013, 62(1): 017802.
doi: 10.7498/aps.62.017802
|
| [7] |
兰惠清, 徐藏. 掺硅类金刚石薄膜摩擦过程的分子动力学模拟.
,
2012, 61(13): 133101.
doi: 10.7498/aps.61.133101
|
| [8] |
张培增, 李瑞山, 谢二庆, 杨华, 王璇, 王涛, 冯有才. 电化学方法制备ZnO纳米颗粒掺杂类金刚石薄膜及其场发射性能研究.
,
2012, 61(8): 088101.
doi: 10.7498/aps.61.088101
|
| [9] |
闫建成, 何智兵, 阳志林, 张颖, 唐永建, 韦建军. 射频功率对辉光放电聚合物结构和性能的影响.
,
2011, 60(3): 036501.
doi: 10.7498/aps.60.036501
|
| [10] |
权伟龙, 李红轩, 吉利, 赵飞, 杜雯, 周惠娣, 陈建敏. 类金刚石薄膜力学特性的分子动力学模拟.
,
2010, 59(8): 5687-5691.
doi: 10.7498/aps.59.5687
|
| [11] |
李红凯, 林国强, 董闯. 脉冲偏压电弧离子镀C-N-V薄膜的成分、结构与性能.
,
2010, 59(6): 4296-4302.
doi: 10.7498/aps.59.4296
|
| [12] |
朱丽, 江美福, 宁兆元, 杜记龙, 王培君. 不同射频输入功率下制备的氟化类金刚石碳膜疏水性研究.
,
2009, 58(9): 6430-6435.
doi: 10.7498/aps.58.6430
|
| [13] |
开花, 李运超, 郭德成, 李双, 李之杰. 斜入射离子束辅助沉积对类金刚石薄膜结构影响的分子动力学模拟.
,
2009, 58(7): 4888-4894.
doi: 10.7498/aps.58.4888
|
| [14] |
肖剑荣, 徐 慧, 郭爱敏, 王焕友. 含氮氟化类金刚石(FN-DLC)薄膜的研究：(Ⅱ)射频功率对薄膜光学带隙的影响.
,
2007, 56(3): 1809-1814.
doi: 10.7498/aps.56.1809
|
| [15] |
肖剑荣, 徐 慧, 郭爱敏, 王焕友. 含氮氟化类金刚石(FN-DLC)薄膜的研究：(Ⅰ) sp结构与化学键分析.
,
2007, 56(3): 1802-1808.
doi: 10.7498/aps.56.1802
|
| [16] |
叶 凡, 谢二庆, 李瑞山, 林洪峰, 张 军, 贺德衍. 类金刚石和碳氮薄膜的电化学沉积及其场发射性能研究.
,
2005, 54(8): 3935-3939.
doi: 10.7498/aps.54.3935
|
| [17] |
杨武保, 王久丽, 张谷令, 范松华, 刘赤子, 杨思泽. 丙酮环境下ECR微波等离子体辅助化学气相沉积类金刚石薄膜研究.
,
2004, 53(9): 3099-3103.
doi: 10.7498/aps.53.3099
|
| [18] |
梅显秀, 徐军, 马腾才. 利用强流脉冲离子束技术在室温下沉积类金刚石薄膜研究.
,
2002, 51(8): 1875-1880.
doi: 10.7498/aps.51.1875
|
| [19] |
宁兆元, 程珊华, 叶超. 电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积a-CFx薄膜的化学键结构.
,
2001, 50(3): 566-571.
doi: 10.7498/aps.50.566
|
| [20] |
郭栋, 蔡锴, 李龙土, 桂治轮. 电解有机溶液法在Si表面制备类金刚石薄膜及退火对其结构的影响.
,
2001, 50(12): 2413-2417.
doi: 10.7498/aps.50.2413
|
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