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基片下磁场磁控对溅射辉光及薄膜梯度的影响

赵新民 狄国庆

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基片下磁场磁控对溅射辉光及薄膜梯度的影响

赵新民, 狄国庆

The influence of the magnetic field magnetron under the substrate on the sputtering glow and film thickness gradient

Zhao Xin-Min, Di Guo-Qing
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-01-17
  • 修回日期:  2003-04-01
  • 刊出日期:  2004-01-15

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