[1] |
杨蒙生, 易泰民, 郑凤成, 唐永建, 张林, 杜凯, 李宁, 赵利平, 柯博, 邢丕峰. 沉积态铀薄膜表面氧化的X射线光电子能谱.
,
2018, 67(2): 027301.
doi: 10.7498/aps.67.20172055
|
[2] |
马海林, 苏庆. 氧分压对溅射制备氧化镓薄膜结构及光学带隙的影响.
,
2014, 63(11): 116701.
doi: 10.7498/aps.63.116701
|
[3] |
陈明, 周细应, 毛秀娟, 邵佳佳, 杨国良. 外加磁场对射频磁控溅射制备铝掺杂氧化锌薄膜影响的研究.
,
2014, 63(9): 098103.
doi: 10.7498/aps.63.098103
|
[4] |
佟国香, 李毅, 王锋, 黄毅泽, 方宝英, 王晓华, 朱慧群, 梁倩, 严梦, 覃源, 丁杰, 陈少娟, 陈建坤, 郑鸿柱, 袁文瑞. 磁控溅射制备W掺杂VO2/FTO复合薄膜及其性能分析.
,
2013, 62(20): 208102.
doi: 10.7498/aps.62.208102
|
[5] |
张传军, 邬云骅, 曹鸿, 高艳卿, 赵守仁, 王善力, 褚君浩. 不同衬底和CdCl2退火对磁控溅射CdS薄膜性能的影响.
,
2013, 62(15): 158107.
doi: 10.7498/aps.62.158107
|
[6] |
江强, 毛秀娟, 周细应, 苌文龙, 邵佳佳, 陈明. 外加磁场对磁控溅射制备氮化硅陷光薄膜的影响.
,
2013, 62(11): 118103.
doi: 10.7498/aps.62.118103
|
[7] |
杨铎, 钟宁, 尚海龙, 孙士阳, 李戈扬. 磁控溅射(Ti, N)/Al纳米复合薄膜的微结构和力学性能.
,
2013, 62(3): 036801.
doi: 10.7498/aps.62.036801
|
[8] |
苏元军, 徐军, 朱明, 范鹏辉, 董闯. 利用等离子体辅助脉冲磁控溅射实现多晶硅薄膜的低温沉积.
,
2012, 61(2): 028104.
doi: 10.7498/aps.61.028104
|
[9] |
丁万昱, 王华林, 巨东英, 柴卫平. O2流量对磁控溅射N掺杂TiO2薄膜成分及晶体结构的影响.
,
2011, 60(2): 028105.
doi: 10.7498/aps.60.028105
|
[10] |
曹月华, 狄国庆. 磁控溅射制备Y2O3-TiO2薄膜形貌的研究.
,
2011, 60(3): 037702.
doi: 10.7498/aps.60.037702
|
[11] |
张旺, 徐法强, 王国栋, 张文华, 李宗木, 王立武, 陈铁锌. Fe/ZnO (0001)体系界面相互作用中薄膜厚度效应的光电子能谱研究.
,
2011, 60(1): 017104.
doi: 10.7498/aps.60.017104
|
[12] |
李林娜, 陈新亮, 王斐, 孙建, 张德坤, 耿新华, 赵颖. H2 气对脉冲磁控溅射铝掺杂氧化锌薄膜性能的影响.
,
2011, 60(6): 067304.
doi: 10.7498/aps.60.067304
|
[13] |
丁万昱, 徐军, 陆文琪, 邓新绿, 董闯. 微波ECR磁控溅射制备SiNx薄膜的XPS结构研究.
,
2009, 58(6): 4109-4116.
doi: 10.7498/aps.58.4109
|
[14] |
李永华, 刘常升, 孟繁玲, 王煜明, 郑伟涛. NiTi合金薄膜厚度对相变温度影响的X射线光电子能谱分析.
,
2009, 58(4): 2742-2745.
doi: 10.7498/aps.58.2742
|
[15] |
刘 峰, 孟月东, 任兆杏, 舒兴胜. 感应耦合等离子体增强射频磁控溅射沉积ZrN薄膜及其性能研究.
,
2008, 57(3): 1796-1801.
doi: 10.7498/aps.57.1796
|
[16] |
丁万昱, 徐 军, 李艳琴, 朴 勇, 高 鹏, 邓新绿, 董 闯. 微波ECR等离子体增强磁控溅射制备SiNx薄膜及其性能分析.
,
2006, 55(3): 1363-1368.
doi: 10.7498/aps.55.1363
|
[17] |
刘志文, 谷建峰, 孙成伟, 张庆瑜. 磁控溅射ZnO薄膜的成核机制及表面形貌演化动力学研究.
,
2006, 55(4): 1965-1973.
doi: 10.7498/aps.55.1965
|
[18] |
周小莉, 杜丕一. 磁控溅射法制备的CaCu3Ti4O12薄膜.
,
2005, 54(4): 1809-1813.
doi: 10.7498/aps.54.1809
|
[19] |
马平, 刘乐园, 张升原, 王昕, 谢飞翔, 邓鹏, 聂瑞娟, 王守证, 戴远东, 王福仁. 直流磁控溅射一步法原位制备MgB2超导薄膜.
,
2002, 51(2): 406-409.
doi: 10.7498/aps.51.406
|
[20] |
苑进社, 陈光德, 齐鸣, 李爱珍, 徐卓. 分子束外延GaN薄膜的X射线光电子能谱和俄歇电子能谱研究.
,
2001, 50(12): 2429-2433.
doi: 10.7498/aps.50.2429
|