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内表面栅极等离子体源离子注入TiN薄膜及其特性研究

张谷令 王久丽 杨武保 范松华 刘赤子 杨思泽

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内表面栅极等离子体源离子注入TiN薄膜及其特性研究

张谷令, 王久丽, 杨武保, 范松华, 刘赤子, 杨思泽

TiN coating for inner surface modification by grid enhanced plasma source ion im plantation

Zhang Gu-Ling, Wang Jiu-Li, Yang Wu-Bao, Fan Song-Hua, Liu Chi-Zi, Yang Si-Ze
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出版历程
  • 收稿日期:  2002-11-27
  • 修回日期:  2003-02-25
  • 刊出日期:  2003-09-20

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