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Femtosecond laser ablation of silicon wafers in air and water

Wang Rui Yang Jian-Jun Liang Chun-Yong Wang Hong-Shui Han Wei Yang Yang

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Femtosecond laser ablation of silicon wafers in air and water

Wang Rui, Yang Jian-Jun, Liang Chun-Yong, Wang Hong-Shui, Han Wei, Yang Yang
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  • Received Date:  09 June 2008
  • Accepted Date:  10 December 2008
  • Published Online:  05 April 2009

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