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电离辐射环境下金属-铁电-绝缘体-基底结构铁电场效应晶体管电学性能的模拟

吴传禄 马颖 蒋丽梅 周益春 李建成

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电离辐射环境下金属-铁电-绝缘体-基底结构铁电场效应晶体管电学性能的模拟

吴传禄, 马颖, 蒋丽梅, 周益春, 李建成

Computer simulation of electric properties of metal-ferroelectric-substrate structured ferroelectric field effect transistor under ionizing radiation

Wu Chuan-Lu, Ma Ying, Jiang Li-Mei, Zhou Yi-Chun, Li Jian-Cheng
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  • 本文利用改进的米勒模型模拟了金属-铁电-绝缘体-基底结构铁电场效应晶体管在电离辐射环境下的铁电薄膜极化、界面电荷密度和电荷迁移率,最终得出在不同辐射总剂量和辐射剂量率下,铁电场效应晶体管的电容和漏源电流曲线. 计算结果表明,总剂量为10 Mrad时,对铁电场效应晶体管的漏源电流和电容影响甚微;总剂量为100 Mrad (1 rad = 102 Gy)时,对其有很明显的影响. 当辐射的剂量率发生变化时,铁电场效应晶体管的电流和电容也会发生改变. 模拟结果表明,铁电场效应晶体管有较强的抗辐射能力.
    This article uses the Miller model to simulate the ferroelectric polarization of the metal-ferroelectrics-insulator-substrate (MFIS) structured ferroelectric field effect transistor (FeFET), interfacial charge concentration, and charge migration rate under ionizing radiation. The capacitance and source-drain current at different total dose and different dose rate are calculated. Results show that the total dose of 0.1 MGy changes slightly the source leakage current and capacitance of the FeFET, and the total dose of 1 MGy leads to a larger variation in these quantities. When the radiation dose rate is varied, the minimal changes in the drain-source current and capacitance are observed. These results suggest that FeFET has a relatively large radiation hardness.
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号:11172257,61176093)资助的课题.
    • Funds: Project suppoted by the National Natural Science Foundation of China (Grant Nos. 11172257, 61176093).
    [1]

    Philpy S T, Kamp D A, DeVilbiss A D, Isacson A F, Derbenwick G F 2000 Aerospace Conference Proceedings Big Sky MT, America, March 18-25, 2000 p377

    [2]

    Verbeck C, Gaucher P 1993 Radiation and its Effects on Components and Systems St. Malo, France, September 13-16, 1993 p166

    [3]

    MacLeodT C, Sims W H, Varnavas K A, Sayyah R, Ho F D 2009 Non-Volatile Memory Technology Symposium Portland America, October 25-28, 2009 p24

    [4]

    Zhang X Y, Guo Q, Lu W, Zhang X F, Zheng Q W, Cui J W, Li Y D, Zhou D 2013 Acta. Phys. Sin. 62 156107 (in Chinese) [张兴尧, 郭旗, 陆妩, 张孝富, 郑齐文, 崔江维, 李豫东, 周东 2013 62 156107]

    [5]

    Schwank J R, Nasby R D, Miller S L, Rodgers M S, Dressendorfer P V 1990 IEEE T. Nucl. Sci. 37 1703

    [6]

    Liu B, Ma Y, Zhou Y, Li J 2013 Radiat Eff. Defects Solids 168 115

    [7]

    Usher T D 1998 APS March Meeting Abstracts Los Angeles, America, March 16-20, 1998 p1709

    [8]

    Li X J, Geng H B, Lan M J, Yang D Z, He S Y, Liu C M 2010 Chin Phys. B 19 056103

    [9]

    Soubra M, Cygler J, Mackay G 1994 Med. Phys. 21 567

    [10]

    He B P, Zhang F Q, Yao Z B 2007 Chin. J. Comput. Phys. 1 109 (in Chinese) [何宝平, 张凤祁, 姚志斌 2007 计算物理 1 109]

    [11]

    Sun P, Du L, Chen W H, He L, Zhang X F 2012 Acta. Phys. Sin. 61 107803 (in Chinese) [孙鹏, 杜磊, 陈文豪, 何亮, 张晓芳 2012 61 107803]

    [12]

    Li Z, Xiao Y G, Tang M H, Chen J W, Ding H, Yan S A, Zhou Y C 2014 Mater. Sci. Forum 787 247

    [13]

    Miller S L, McWhorter P J 1992 J. Appl. Phys. 72 5999

    [14]

    Guo Y, Chen J J, He Y B, Liang B, Liu B W 2013 Chin Phys. B 22 046103

    [15]

    Yan S A, Tang M H, Zhao W, Guo H X, Zhang W L, Xu X Y, Wang X D, Ding H, Chen J W, Li Z, Zhou Y C 2014 Chin Phys. B 23 046103

    [16]

    Chauhan R K, Chakrabarti P 2002 Microelectron. J. 33 197

    [17]

    Inza M G, Lipovetzky J, Carbonetto S, Salomone L S, Redin E, Faigon A 2012 Technology and Applicationsin Micro-Nanoelectronics Cordoba, Argentina, August 9-10, 2012 p79

    [18]

    Brews J R 1981 Appl. Solid State Science (New York: Academic Press) pp11-120

    [19]

    Takagi S I, Toriumi A, Iwase M, Tango H 1994 IEEE T. Electron Dev. 41 2357

    [20]

    Miller S L, Nasby R D, Schwank J R, Rodgers M S, Dressendorfer P V 1990 J. Appl. Phys. 68 6463

    [21]

    Shi Q, Ma Y, Li Y, Zhou Y 2011 Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. B 269 452

  • [1]

    Philpy S T, Kamp D A, DeVilbiss A D, Isacson A F, Derbenwick G F 2000 Aerospace Conference Proceedings Big Sky MT, America, March 18-25, 2000 p377

    [2]

    Verbeck C, Gaucher P 1993 Radiation and its Effects on Components and Systems St. Malo, France, September 13-16, 1993 p166

    [3]

    MacLeodT C, Sims W H, Varnavas K A, Sayyah R, Ho F D 2009 Non-Volatile Memory Technology Symposium Portland America, October 25-28, 2009 p24

    [4]

    Zhang X Y, Guo Q, Lu W, Zhang X F, Zheng Q W, Cui J W, Li Y D, Zhou D 2013 Acta. Phys. Sin. 62 156107 (in Chinese) [张兴尧, 郭旗, 陆妩, 张孝富, 郑齐文, 崔江维, 李豫东, 周东 2013 62 156107]

    [5]

    Schwank J R, Nasby R D, Miller S L, Rodgers M S, Dressendorfer P V 1990 IEEE T. Nucl. Sci. 37 1703

    [6]

    Liu B, Ma Y, Zhou Y, Li J 2013 Radiat Eff. Defects Solids 168 115

    [7]

    Usher T D 1998 APS March Meeting Abstracts Los Angeles, America, March 16-20, 1998 p1709

    [8]

    Li X J, Geng H B, Lan M J, Yang D Z, He S Y, Liu C M 2010 Chin Phys. B 19 056103

    [9]

    Soubra M, Cygler J, Mackay G 1994 Med. Phys. 21 567

    [10]

    He B P, Zhang F Q, Yao Z B 2007 Chin. J. Comput. Phys. 1 109 (in Chinese) [何宝平, 张凤祁, 姚志斌 2007 计算物理 1 109]

    [11]

    Sun P, Du L, Chen W H, He L, Zhang X F 2012 Acta. Phys. Sin. 61 107803 (in Chinese) [孙鹏, 杜磊, 陈文豪, 何亮, 张晓芳 2012 61 107803]

    [12]

    Li Z, Xiao Y G, Tang M H, Chen J W, Ding H, Yan S A, Zhou Y C 2014 Mater. Sci. Forum 787 247

    [13]

    Miller S L, McWhorter P J 1992 J. Appl. Phys. 72 5999

    [14]

    Guo Y, Chen J J, He Y B, Liang B, Liu B W 2013 Chin Phys. B 22 046103

    [15]

    Yan S A, Tang M H, Zhao W, Guo H X, Zhang W L, Xu X Y, Wang X D, Ding H, Chen J W, Li Z, Zhou Y C 2014 Chin Phys. B 23 046103

    [16]

    Chauhan R K, Chakrabarti P 2002 Microelectron. J. 33 197

    [17]

    Inza M G, Lipovetzky J, Carbonetto S, Salomone L S, Redin E, Faigon A 2012 Technology and Applicationsin Micro-Nanoelectronics Cordoba, Argentina, August 9-10, 2012 p79

    [18]

    Brews J R 1981 Appl. Solid State Science (New York: Academic Press) pp11-120

    [19]

    Takagi S I, Toriumi A, Iwase M, Tango H 1994 IEEE T. Electron Dev. 41 2357

    [20]

    Miller S L, Nasby R D, Schwank J R, Rodgers M S, Dressendorfer P V 1990 J. Appl. Phys. 68 6463

    [21]

    Shi Q, Ma Y, Li Y, Zhou Y 2011 Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. B 269 452

  • [1] 张林, 马林东, 杜林, 李艳波, 徐先峰, 黄鑫蓉. 不同栅压下Si-n型金属氧化物半导体场效应管总剂量效应的瞬态特性仿真.  , 2023, 72(13): 138501. doi: 10.7498/aps.72.20230207
    [2] 赵利利, 吴蒙蒙, 林文璐, 刘阳. 二维系统研究中的无电极输运方法.  , 2022, 71(12): 127303. doi: 10.7498/aps.71.20220246
    [3] 顾朝桥, 郭红霞, 潘霄宇, 雷志峰, 张凤祁, 张鸿, 琚安安, 柳奕天. 不同应力下碳化硅场效应晶体管器件总剂量效应及退火特性.  , 2021, 70(16): 166101. doi: 10.7498/aps.70.20210515
    [4] 董世剑, 郭红霞, 马武英, 吕玲, 潘霄宇, 雷志锋, 岳少忠, 郝蕊静, 琚安安, 钟向丽, 欧阳晓平. AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管器件电离辐照损伤机理及偏置相关性研究.  , 2020, 69(7): 078501. doi: 10.7498/aps.69.20191557
    [5] 陈钱, 马英起, 陈睿, 朱翔, 李悦, 韩建伟. 激光模拟瞬态剂量率闩锁效应电流特征机制研究.  , 2019, 68(12): 124202. doi: 10.7498/aps.68.20190237
    [6] 李小龙, 陆妩, 王信, 郭旗, 何承发, 孙静, 于新, 刘默寒, 贾金成, 姚帅, 魏昕宇. 典型模拟电路低剂量率辐照损伤增强效应的研究与评估.  , 2018, 67(9): 096101. doi: 10.7498/aps.67.20180027
    [7] 郝敏如, 胡辉勇, 廖晨光, 王斌, 赵小红, 康海燕, 苏汉, 张鹤鸣. 射线总剂量辐照对单轴应变Si纳米n型金属氧化物半导体场效应晶体管栅隧穿电流的影响.  , 2017, 66(7): 076101. doi: 10.7498/aps.66.076101
    [8] 郑齐文, 崔江维, 王汉宁, 周航, 余徳昭, 魏莹, 苏丹丹. 超深亚微米互补金属氧化物半导体器件的剂量率效应.  , 2016, 65(7): 076102. doi: 10.7498/aps.65.076102
    [9] 商怀超, 刘红侠, 卓青青. 低剂量率60Co γ 射线辐照下SOI MOS器件的退化机理.  , 2012, 61(24): 246101. doi: 10.7498/aps.61.246101
    [10] 宋德华, 吕梦菲, 任翔, 李萌萌, 俎云霄. 忆阻电路的基本性质及其应用.  , 2012, 61(11): 118101. doi: 10.7498/aps.61.118101
    [11] 范雪, 李威, 李平, 张斌, 谢小东, 王刚, 胡滨, 翟亚红. 基于环形栅和半环形栅N沟道金属氧化物半导体晶体管的总剂量辐射效应研究.  , 2012, 61(1): 016106. doi: 10.7498/aps.61.016106
    [12] 高博, 刘刚, 王立新, 韩郑生, 张彦飞, 王春林, 温景超. 国产星用VDMOS器件总剂量辐射损伤效应研究.  , 2012, 61(17): 176107. doi: 10.7498/aps.61.176107
    [13] 何宝平, 丁李利, 姚志斌, 肖志刚, 黄绍燕, 王祖军. 超深亚微米器件总剂量辐射效应三维数值模拟.  , 2011, 60(5): 056105. doi: 10.7498/aps.60.056105
    [14] 胡子阳, 程晓曼, 吴仁磊, 王忠强, 侯庆传, 印寿根. 基于垂直结构的有机光发射晶体管制备与性能研究.  , 2010, 59(4): 2734-2738. doi: 10.7498/aps.59.2734
    [15] 何宝平, 姚志斌. 互补金属氧化物半导体器件空间低剂量率辐射效应预估模型研究.  , 2010, 59(3): 1985-1990. doi: 10.7498/aps.59.1985
    [16] 郑玉展, 陆妩, 任迪远, 王义元, 郭旗, 余学锋, 何承发. 不同发射极面积npn晶体管高低剂量率辐射损伤特性.  , 2009, 58(8): 5572-5577. doi: 10.7498/aps.58.5572
    [17] 何宝平, 郭红霞, 龚建成, 王桂珍, 罗尹虹, 李永宏. 浮栅ROM集成电路空间低剂量率辐射失效时间预估.  , 2004, 53(9): 3125-3129. doi: 10.7498/aps.53.3125
    [18] 何宝平, 王桂珍, 周 辉, 龚建成, 罗尹虹, 姜景和. NMOS器件不同剂量率γ射线辐射响应的理论预估.  , 2003, 52(1): 188-191. doi: 10.7498/aps.52.188
    [19] 张廷庆, 刘传洋, 刘家璐, 王剑屏, 黄智, 徐娜军, 何宝平, 彭宏论, 姚育娟. 低温低剂量率下金属-氧化物-半导体器件的辐照效应.  , 2001, 50(12): 2434-2438. doi: 10.7498/aps.50.2434
    [20] 胡仁宇. 用小电离室测量镭所放出的γ射线的剂量率.  , 1962, 18(10): 527-539. doi: 10.7498/aps.18.527
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出版历程
  • 收稿日期:  2014-05-18
  • 修回日期:  2014-06-24
  • 刊出日期:  2014-11-05

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