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Monte Carlo方法研究低能电子束曝光沉积能分布规律

任黎明 陈宝钦 谭震宇

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Monte Carlo方法研究低能电子束曝光沉积能分布规律

任黎明, 陈宝钦, 谭震宇

Ren Li-Ming, Chen Bao-Qin, Tan Zhen-Yu
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出版历程
  • 收稿日期:  2001-08-24
  • 修回日期:  2001-09-19
  • 刊出日期:  2005-04-03

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