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ECR-CVD法制备的a-C:F:H薄膜在N2气氛中的热退火研究

辛煜 宁兆元 程珊华 陆新华 甘肇强 黄松

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ECR-CVD法制备的a-C:F:H薄膜在N2气氛中的热退火研究

辛煜, 宁兆元, 程珊华, 陆新华, 甘肇强, 黄松

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出版历程
  • 收稿日期:  2001-07-06
  • 修回日期:  2001-08-04
  • 刊出日期:  2002-01-05

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