搜索

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

碰撞效应对入射到射频偏压电极上离子能量分布和角度分布的影响

邱华檀 王友年 马腾才

引用本文:
Citation:

碰撞效应对入射到射频偏压电极上离子能量分布和角度分布的影响

邱华檀, 王友年, 马腾才

Qiu Hua-Tan, Wang You-Nian, Ma Teng-Cai
PDF
导出引用
计量
  • 文章访问数:  7823
  • PDF下载量:  671
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2001-10-02
  • 修回日期:  2001-11-08
  • 刊出日期:  2002-03-05

/

返回文章
返回
Baidu
map