| [1] |
唐华杰, 张晋敏, 金浩, 邵飞, 胡维前, 谢泉. 溅射功率对金属锰膜光学性质的影响.
,
2013, 62(24): 247803.
doi: 10.7498/aps.62.247803
|
| [2] |
杨铎, 钟宁, 尚海龙, 孙士阳, 李戈扬. 磁控溅射(Ti, N)/Al纳米复合薄膜的微结构和力学性能.
,
2013, 62(3): 036801.
doi: 10.7498/aps.62.036801
|
| [3] |
沈向前, 谢泉, 肖清泉, 陈茜, 丰云. 磁控溅射辉光放电特性的模拟研究.
,
2012, 61(16): 165101.
doi: 10.7498/aps.61.165101
|
| [4] |
王永军, 李红轩, 吉利, 刘晓红, 吴艳霞, 周惠娣, 陈建敏. 非平衡磁控溅射制备类石墨碳膜及性能研究.
,
2012, 61(5): 056103.
doi: 10.7498/aps.61.056103
|
| [5] |
李林娜, 陈新亮, 王斐, 孙建, 张德坤, 耿新华, 赵颖. H2 气对脉冲磁控溅射铝掺杂氧化锌薄膜性能的影响.
,
2011, 60(6): 067304.
doi: 10.7498/aps.60.067304
|
| [6] |
曹月华, 狄国庆. 磁控溅射制备Y2O3-TiO2薄膜形貌的研究.
,
2011, 60(3): 037702.
doi: 10.7498/aps.60.037702
|
| [7] |
牟宗信, 牟晓东, 贾莉, 王春, 董闯. 非平衡磁控溅射双势阱静电波动及其共振耦合.
,
2010, 59(10): 7164-7169.
doi: 10.7498/aps.59.7164
|
| [8] |
丁万昱, 徐军, 陆文琪, 邓新绿, 董闯. 微波ECR磁控溅射制备SiNx薄膜的XPS结构研究.
,
2009, 58(6): 4109-4116.
doi: 10.7498/aps.58.4109
|
| [9] |
刘 峰, 孟月东, 任兆杏, 舒兴胜. 感应耦合等离子体增强射频磁控溅射沉积ZrN薄膜及其性能研究.
,
2008, 57(3): 1796-1801.
doi: 10.7498/aps.57.1796
|
| [10] |
张 辉, 刘应书, 刘文海, 王宝义, 魏 龙. 基片温度与氧分压对磁控溅射制备氧化钒薄膜的影响.
,
2007, 56(12): 7255-7261.
doi: 10.7498/aps.56.7255
|
| [11] |
辛 萍, 孙成伟, 秦福文, 文胜平, 张庆瑜. 反应磁控溅射ZnO/MgO多量子阱的光致荧光光谱分析.
,
2007, 56(2): 1082-1087.
doi: 10.7498/aps.56.1082
|
| [12] |
甄聪棉, 马 丽, 张金娟, 刘 英, 聂向富. Ti(Cr)缓冲层对用于垂直磁记录材料CoCrTa介质磁特性和微结构的影响.
,
2007, 56(3): 1730-1734.
doi: 10.7498/aps.56.1730
|
| [13] |
胡 冰, 李晓娜, 董 闯, 姜 辛. 磁控溅射法合成纳米β-FeSi2/a-Si多层结构.
,
2007, 56(12): 7188-7194.
doi: 10.7498/aps.56.7188
|
| [14] |
丁万昱, 徐 军, 李艳琴, 朴 勇, 高 鹏, 邓新绿, 董 闯. 微波ECR等离子体增强磁控溅射制备SiNx薄膜及其性能分析.
,
2006, 55(3): 1363-1368.
doi: 10.7498/aps.55.1363
|
| [15] |
刘志文, 谷建峰, 孙成伟, 张庆瑜. 磁控溅射ZnO薄膜的成核机制及表面形貌演化动力学研究.
,
2006, 55(4): 1965-1973.
doi: 10.7498/aps.55.1965
|
| [16] |
周小莉, 杜丕一. 磁控溅射法制备的CaCu3Ti4O12薄膜.
,
2005, 54(4): 1809-1813.
doi: 10.7498/aps.54.1809
|
| [17] |
牟宗信, 李国卿, 秦福文, 黄开玉, 车德良. 非平衡磁控溅射系统离子束流磁镜效应模型.
,
2005, 54(3): 1378-1384.
doi: 10.7498/aps.54.1378
|
| [18] |
李宝河, 黄 阀, 杨 涛, 翟中海, 朱逢吾. 利用［Fe/Pt］n多层膜降低L10-FePt有序化温度.
,
2005, 54(4): 1836-1840.
doi: 10.7498/aps.54.1836
|
| [19] |
李宝河, 黄 阀, 杨 涛, 冯 春, 翟中海, 朱逢吾. 垂直取向FePt/Ag纳米颗粒薄膜的结构和磁性.
,
2005, 54(8): 3867-3871.
doi: 10.7498/aps.54.3867
|
| [20] |
邓联文, 江建军, 冯则坤, 张秀成, 何华辉. FeCoBSiO2磁性纳米颗粒膜的微波电磁特性.
,
2004, 53(12): 4359-4363.
doi: 10.7498/aps.53.4359
|
下载:
