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脉冲高能量密度等离子体法制备TiN薄膜及其摩擦磨损性能研究

刘元富 张谷令 王久丽 刘赤子 杨思泽

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脉冲高能量密度等离子体法制备TiN薄膜及其摩擦磨损性能研究

刘元富, 张谷令, 王久丽, 刘赤子, 杨思泽

Preparation of titanium nitride films by pulsed high-energy-density plasma and investigation of the tribological behavior of the film

Liu Yuan-Fu, Zhang Gu-Ling, Wang Jiu-Li, Liu Chi-Zi, Yang Si-Ze
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-05-13
  • 修回日期:  2003-05-23
  • 刊出日期:  2004-01-05

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