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用氢钝化Si(100)面抑制分子束处延界面的硼尖峰

卫星 龚大卫 杨小平 吕宏强 崔堑 盛篪 张翔九 王迅 王勤华 陆昉 孙恒慧

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用氢钝化Si(100)面抑制分子束处延界面的硼尖峰

卫星, 龚大卫, 杨小平, 吕宏强, 崔堑, 盛篪, 张翔九, 王迅, 王勤华, 陆昉, 孙恒慧

ELIMINATION OF INTERFACIAL BORON SPIKES IN Si MOLECULAR BEAM EPITAXY BY HYDROGEN PASSIVATION TREATMENT OF Si (100) SUBSTRATE

WEI XING, GONG DA-WEI, YANG XIAO-PING, LU HONG-QIANG, CUI QIAN, SHENG CHI, ZHANG XIANG-JIU, WANG XUN, WANG QIN-HUA, LU FANG, SUN HENG-HUI
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出版历程
  • 收稿日期:  1993-01-11
  • 刊出日期:  1993-06-05

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