As在Co/Ti/Si三元固相反应中的分凝效应

刘平; 周祖尧; 林成鲁; 邹世昌; 李炳宗; 孙臻

doi:10.7498/aps.42.1800

摘要

在注入As的Si表面上,采用离子束溅射淀积Co/Ti双层金属膜。在氮气氛下对Co/Ti/Si进行多步热处理,研究As原子在Co/Ti/Si三元固相反应过程中的行为。实验采用背散射技术测量As原子在反应各阶段中的分布。结果表明,随着反应形成TiN(O)/Co-Ti-Si/CoSi2/Si多层薄膜结构,一部分Si衬底中的As原子被分凝出来,向表面运动,并聚集在Co-Ti-Si三元硅化物中。对As原子的这一再分布行为进行了讨论。
Abstract
The bimetallic layers of Co/Ti were deposited by ion beam sputtering on silicon implanted with arsenic. The sample of Co/Ti/Si was treated by a multi-step annealing under nitrogen ambient. The behaviuor of arsenic during the reaction of ternary Co/Ti/Si system was studied by Rutherford backscattering sepctrometry (RBS). The results show that a multi-layer structure of TiN(O)/Co-Ti-Si/CoSi2/Si was formed by the reaction and a number of arsenic atoms were segregated from silicon substrate to the interlayer of Co-Ti-Si compound.
作者及机构信息
刘平²,

周祖尧²,

林成鲁²,

邹世昌²,

李炳宗¹,

孙臻¹

(1)复旦大学电子工程系,上海200433; (2)中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室,上海200050
Authors and contacts
LIU PING²,

ZHOU ZU-YAO²,

LIN CHENG-LU²,

ZOU SHI-CHANG²,

LI BING-ZONG¹,

SUN ZHEN¹

(1)复旦大学电子工程系,上海200433; (2)中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室,上海200050
参考文献

施引文献

[1]	史晓红, 陈京金, 曹昕睿, 吴顺情, 朱梓忠. 富锂锰基三元材料Li_1.167Ni_0.167Co_0.167Mn_0.5O₂中的氧空位形成. , 2022, 71(17): 178202. doi: 10.7498/aps.71.20220274
[2]	郭宇琦, 潘俊星, 张进军, 孙敏娜, 王宝凤, 武海顺. 在光敏性三元聚合物混合物中构造多尺度有序图案. , 2016, 65(5): 056401. doi: 10.7498/aps.65.056401
[3]	刘金明, 翟薇, 周凯, 耿德路, 魏炳波. 三元(Co0.5Cu0.5)100-xSnx合金的热物理性质与液固相变机理. , 2016, 65(22): 228101. doi: 10.7498/aps.65.228101
[4]	谷卓, 班士良. 纤锌矿结构ZnO/MgxZn1-xO量子阱中带间光吸收的尺寸效应和三元混晶效应. , 2014, 63(10): 107301. doi: 10.7498/aps.63.107301
[5]	侯志鹏, 苏峰, 王文全. 三元Co79Zr18Cr3合金中高矫顽力. , 2014, 63(8): 087501. doi: 10.7498/aps.63.087501
[6]	屈媛, 班士良. 纤锌矿氮化物量子阱中光学声子模的三元混晶效应. , 2010, 59(7): 4863-4873. doi: 10.7498/aps.59.4863
[7]	臧渡洋, 王海鹏, 魏炳波. 深过冷三元Ni-Cu-Co合金的快速枝晶生长. , 2007, 56(8): 4804-4809. doi: 10.7498/aps.56.4804
[8]	刘玮书, 张波萍, 李敬锋, 刘静. 机械合金化合成CoSb3过程中的固相反应机理的热力学解释. , 2006, 55(1): 465-471. doi: 10.7498/aps.55.465
[9]	刘学超, 施尔畏, 宋力昕, 张华伟, 陈之战. 固相反应法制备Co掺杂ZnO的磁性和光学性能研究. , 2006, 55(5): 2557-2561. doi: 10.7498/aps.55.2557
[10]	谢二庆, 王文武, 姜宁, 贺德衍. 锰硅化物的固相反应生长研究. , 2002, 51(4): 873-876. doi: 10.7498/aps.51.873
[11]	王文全, 王建立, 唐宁, 包富泉, 吴光恒, 杨伏明, 金汉民. Sm-Co-Ti三元系相关系及某些单相化合物的结构与磁性. , 2001, 50(4): 752-757. doi: 10.7498/aps.50.752
[12]	李铁, 李玉芝, 牟陟, 陈林, 张裕恒. 退火Ge/Fe多层膜的固相反应与磁性. , 1996, 45(2): 239-243. doi: 10.7498/aps.45.239
[13]	储少岩, 王绪威, 程先安, 李存建, 王俊奎, 吴乾章, 黄家山. 固相反应时Bi1.92Pb0.32Sr2Ca1.7Mg0.3Cu3.07Ox超导体中2223相的生长. , 1992, 41(12): 2024-2033. doi: 10.7498/aps.41.2024
[14]	胡伯平, 张寿恭. R13Fe74Si13三元合金的结构与磁性. , 1987, 36(9): 1177-1181. doi: 10.7498/aps.36.1177
[15]	张京, 刘安生, 吴自勤, 郭可信. Pd-Si薄膜固相反应的透射电子显微镜研究. , 1986, 35(7): 965-968. doi: 10.7498/aps.35.965
[16]	郑建宣, 曾令民. Gd-Co-Cu三元系合金相图. , 1985, 34(3): 381-383. doi: 10.7498/aps.34.381
[17]	王德宁, 郭沪玲, 王渭源. 合金三元和四元系无定形靶中离子射程研究. , 1983, 32(3): 393-399. doi: 10.7498/aps.32.393
[18]	郑建宣, 李国运. La-Co-Ni三元系相图. , 1982, 31(5): 674-679. doi: 10.7498/aps.31.674
[19]	陆学善, 李方华. Al-Ni-Co三元系中(Ni,Co)₃Al₄的晶体结构——一种由空位控制的新合金相. , 1980, 29(2): 182-198. doi: 10.7498/aps.29.182
[20]	郑建宣, 黄畅之, 陈寿山, 陈铁民, 甘启昌. 银-锡-铝三元系富银合金固相平衡圖. , 1958, 14(4): 346-353. doi: 10.7498/aps.14.346

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As在Co/Ti/Si三元固相反应中的分凝效应

SEGREGATION OF ARSENIC DURING THE SOLID STATE REACTION OF TERNARY Co/Ti/Si SYSTEM

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