非晶Ni88P12合金薄膜的表面形貌特征与晶化行为的研究

杨建树; 蔡群; 董树忠; 李和兴; 邓景发; 孙洁林; 李民乾

doi:10.7498/aps.46.490

摘要

采用化学镀的方法在363K和p型Si（100）衬底上制得非晶Ni88P12合金薄膜．利用X射线衍射、X射线光电子能谱、扫描隧道显微镜和原子力显微镜对非晶合金薄膜及其经处理后形成的氧化态、还原态和晶态的结构、组分和表面的形貌特征作了研究，并对它的晶化行为作了初步探讨．结果表明，非晶合金薄膜是由纳米级微粒聚集成微米级颗粒组成；在低于晶化温度条件下经氧化和还原处理后的薄膜表面晶化；在晶化过程中，合金薄膜的非晶纳米微粒转变为微晶后长大成晶粒，其表面结构光滑平坦，几何边界
Abstract
The amorphous Ni88P12 alloy films were prepared on the p-Si(100) substrate by chemical deposition in solution at 363K. The structure, composition and morphology of the films were studied by STM, AFM, XRD and XPS before and after the treatment of oxidation, reduction and crystallization. The results showed that the amorphous Ni88P12 alloy film was in the form of the micrometre-scale grains and each of which consisted of nanoparticles. The surface crystallization started as the films were oxidized and reduced at the temperature lower than that at which crystallization occurred. The morphological feature of the crystallites developed from the nanophase of the amorphous film was also observed after crystallization.
作者及机构信息
杨建树²,

蔡群²,

董树忠²,

李和兴¹,

邓景发¹,

孙洁林³,

李民乾³

(1)复旦大学化学系,上海200433; (2)复旦大学应用表面物理国家重点实验室,上海200433; (3)中国科学院上海原子核研究所核分析开放研究实验室

基金项目: 国家自然科学基金资助的课题.
Authors and contacts
YANG JIAN-SHU²,

CAI QUN²,

DONG SHU-ZHONG²,

LI HE-XING¹,

DENG JING-FA¹,

SUN JIE-LIN³,

LI MIN-QIAN³

(1)复旦大学化学系,上海200433; (2)复旦大学应用表面物理国家重点实验室,上海200433; (3)中国科学院上海原子核研究所核分析开放研究实验室
参考文献

施引文献

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[19]	郭可信, 吴玉琨, 梁金忠, 常昕. 非晶Ni-P合金晶化过程中生成的六角亚稳相(Ⅱ)——孪晶生长关系. , 1983, 32(7): 939-946. doi: 10.7498/aps.32.939
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非晶Ni88P12合金薄膜的表面形貌特征与晶化行为的研究

SURFACE MORPHOLOGY AND CRYSTALLIZATION BEHAVIOR-OF AMORPHOUS NiNi88P12 ALLOY FILM

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(1)复旦大学化学系,上海200433; (2)复旦大学应用表面物理国家重点实验室,上海200433; (3)中国科学院上海原子核研究所核分析开放研究实验室

Authors and contacts

(1)复旦大学化学系,上海200433; (2)复旦大学应用表面物理国家重点实验室,上海200433; (3)中国科学院上海原子核研究所核分析开放研究实验室

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