[1] |
李刘合, 刘红涛, 罗辑, 许亿. 带状真空电弧磁过滤器等离子体分布特性及制备类金刚石膜研究.
,
2016, 65(6): 065202.
doi: 10.7498/aps.65.065202
|
[2] |
何素明, 戴珊珊, 罗向东, 张波, 王金斌. 等离子体增强化学气相沉积工艺制备SiON膜及对硅的钝化.
,
2014, 63(12): 128102.
doi: 10.7498/aps.63.128102
|
[3] |
刘杰, 刘邦武, 夏洋, 李超波, 刘肃. 等离子体浸没离子注入制备黑硅抗反射层及其光学特性研究.
,
2012, 61(14): 148102.
doi: 10.7498/aps.61.148102
|
[4] |
黄永宪, 冷劲松, 田修波, 吕世雄, 李垚. 等离子体浸没离子注入非导电聚合物的适应性及栅网诱导效应的研究.
,
2012, 61(15): 155206.
doi: 10.7498/aps.61.155206
|
[5] |
闫建成, 何智兵, 阳志林, 陈志梅, 唐永建, 韦建军. 玻璃微球表面辉光等离子体聚合物涂层的热稳定性研究.
,
2010, 59(11): 8005-8009.
doi: 10.7498/aps.59.8005
|
[6] |
花 磊, 宋国峰, 郭宝山, 汪卫敏, 张 宇. 中红外下半导体掺杂调制的表面等离子体透射增强效应.
,
2008, 57(11): 7210-7215.
doi: 10.7498/aps.57.7210
|
[7] |
张谷令, 王久丽, 陈光良, 冯文然, 顾伟超, 牛二武, 范松华, 刘赤子, 杨思泽. 金属管件内壁栅极增强等离子体源离子注入的轴向特性研究.
,
2007, 56(3): 1461-1466.
doi: 10.7498/aps.56.1461
|
[8] |
洪 昕, 杜丹丹, 裘祖荣, 张国雄. 半壳结构金纳米膜的局域表面等离子体共振效应.
,
2007, 56(12): 7219-7223.
doi: 10.7498/aps.56.7219
|
[9] |
辛 煜, 狄小莲, 虞一青, 宁兆元. 多源感应耦合等离子体的产生及等离子体诊断.
,
2006, 55(7): 3494-3500.
doi: 10.7498/aps.55.3494
|
[10] |
杨武保, 范松华, 戈 敏, 张谷令, 沈曾民, 杨思泽. 高能等离子体辅助CVD法新型纳米碳膜的制备及分析.
,
2006, 55(1): 351-356.
doi: 10.7498/aps.55.351
|
[11] |
李雪春, 王友年. 介质靶表面的充电效应对等离子体浸没离子注入过程中鞘层特性的影响.
,
2004, 53(8): 2666-2669.
doi: 10.7498/aps.53.2666
|
[12] |
张端明, 关 丽, 李智华, 钟志成, 侯思普, 杨凤霞, 郑克玉. 脉冲激光制膜过程中等离子体演化规律的研究.
,
2003, 52(1): 242-246.
doi: 10.7498/aps.52.242
|
[13] |
张谷令, 王久丽, 杨武保, 范松华, 刘赤子, 杨思泽. 内表面栅极等离子体源离子注入TiN薄膜及其特性研究.
,
2003, 52(9): 2213-2218.
doi: 10.7498/aps.52.2213
|
[14] |
宁兆元, 程珊华. 非晶含氢碳膜的氧等离子体刻蚀性能研究.
,
1999, 48(10): 1950-1956.
doi: 10.7498/aps.48.1950
|
[15] |
辛 煜, 范叔平, 狄国庆, 沈明荣, 甘肇强. 微波等离子体化学汽相沉积法沉积CNx膜的研究.
,
1998, 47(1): 154-159.
doi: 10.7498/aps.47.154
|
[16] |
廖克俊, 王万录. 直流等离子体CVD法合成的金刚石膜的断裂强度研究.
,
1994, 43(9): 1559-1563.
doi: 10.7498/aps.43.1559
|
[17] |
伍乃娟, 谢侃, 胡建芳, 洪明苑, 李会楠. 在低温等离子体及低能离子作用下PET表面氮的XPS研究.
,
1988, 37(3): 373-378.
doi: 10.7498/aps.37.373
|
[18] |
傅广生, 韩理, 李晓苇, 张连水, 董丽芳, 吕福润, 薛春银. 激光等离子体淀积硅膜.
,
1987, 36(3): 293-300.
doi: 10.7498/aps.36.293
|
[19] |
徐至展, 李安民, 陈时胜, 林礼煌, 梁向春, 欧阳斌, 毕无忌, 何兴法, 殷光裕, 张树干, 潘成明. 激光加热等离子体研究.
,
1981, 30(8): 1077-1084.
doi: 10.7498/aps.30.1077
|
[20] |
浓密等离子体焦点研究小组. 浓密等离子体焦点的研究.
,
1975, 24(5): 309-316.
doi: 10.7498/aps.24.309
|