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高温处理对CNx薄膜晶化的影响

肖兴成 江伟辉 田静芬 宋力昕 胡行方

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高温处理对CNx薄膜晶化的影响

肖兴成, 江伟辉, 田静芬, 宋力昕, 胡行方

Effect of High-Temperature Treatment on the Crystallization of CNx Thin Films

Xiao Xing-cheng, Jiang Wei-hui, Tian Jing-fen, Song Li-xing, Hu Xing-fang
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  • 刊出日期:  2000-01-20

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