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载能原子沉积Au/Au(100)外延薄膜生长的计算机模拟

张庆瑜 马腾才 潘正瑛 汤家镛

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载能原子沉积Au/Au(100)外延薄膜生长的计算机模拟

张庆瑜, 马腾才, 潘正瑛, 汤家镛

INVESTIGATION OF Au/Au(100)FILM GROWTH WITH ENERGETIC DEPOSITION BY KINETIC MONTE CARLO SIMULATION

ZHANG QING-YU, MA TENG-CAI, PAN ZHENG-YING, TANG JIA-YONG
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出版历程
  • 收稿日期:  1999-10-07
  • 修回日期:  1999-11-24
  • 刊出日期:  2000-03-05

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