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亚微米光栅周期的软X射线多层膜光栅的衍射效率研究

袁利祥 范正修 殷功杰 邵建达 易葵 崔明启 刘丽冰 缪建伟 陈光辉 沈孝良

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亚微米光栅周期的软X射线多层膜光栅的衍射效率研究

袁利祥, 范正修, 殷功杰, 邵建达, 易葵, 崔明启, 刘丽冰, 缪建伟, 陈光辉, 沈孝良

Yuan Li-Xiang, Fan Zheng-Xiu, Yin Gong-Jie, Shao Jian-Da, Yi Kui, Cui Ming-Qi, Liu Li-Bing, Miao Jian-Wei, Chen Guang-Hui, Shen Xiao-Liang
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出版历程
  • 收稿日期:  1994-03-01
  • 刊出日期:  1995-01-05

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