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晶化对A-Si:H膜中氢含量及键合形式的作用

何宇亮 颜永红

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晶化对A-Si:H膜中氢含量及键合形式的作用

何宇亮, 颜永红

THE EFFECT OF CRYSTALLIZATION ON HYDROGEN CONTENTS AND BONDING STRUCTURE OF A-Si:H FILMS

HE YU-LIANG, YAN YONG-HONG
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出版历程
  • 收稿日期:  1983-12-12
  • 刊出日期:  1984-05-05

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