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七种离子注入砷化镓的射程统计参数计算

程兆年 朱文玉 王渭源

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七种离子注入砷化镓的射程统计参数计算

程兆年, 朱文玉, 王渭源

CALCULATION OF RANGE STATISTIC PARAMETERS FOR IONS IMPLANTED IN GaAs

CHENG ZHAO-NIAN, ZHU WEN-YU, WANG WEI-YUAN
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出版历程
  • 收稿日期:  1981-08-11
  • 刊出日期:  2005-07-27

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