搜索

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

基体对应力诱导的纳米晶W膜开裂行为的影响

孙浩亮 宋忠孝 徐可为

引用本文:
Citation:

基体对应力诱导的纳米晶W膜开裂行为的影响

孙浩亮, 宋忠孝, 徐可为

Effect of substrate constraint on stress-induced cracking of sputtered tungsten thin film

Sun Hao-Liang, Song Zhong-Xiao, Xu Ke-Wei
PDF
导出引用
计量
  • 文章访问数:  8216
  • PDF下载量:  679
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2007-09-20
  • 修回日期:  2008-05-05
  • 刊出日期:  2008-04-05

/

返回文章
返回
Baidu
map