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用低能离子溅射剥层和高能离子背散射组合方法进行薄膜原位分析  

刘 波 姜 蕾 周筑颖 贺勉鸿 赵国庆 宗祥福

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用低能离子溅射剥层和高能离子背散射组合方法进行薄膜原位分析  

刘 波, 姜 蕾, 周筑颖, 贺勉鸿, 赵国庆, 宗祥福

In Situ Analysis of High Energetic Ion RBS Combined with Low Energetic Ion Sputtering for Thin Films

Liu Bo, Jiang Lei, Zhou Zhu-ying, He Mian-hong, Zhao Guo-qing, Zong Xiang-fu
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出版历程
  • 刊出日期:  2000-01-20

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