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电子助进热丝化学汽相沉积金刚石薄膜

韩理 王晓辉 于威 董丽芳 李晓苇 傅广生

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电子助进热丝化学汽相沉积金刚石薄膜

韩理, 王晓辉, 于威, 董丽芳, 李晓苇, 傅广生

CHARACTERIZATION STUDY OF TEXTURED DIAMOND FILMS GROWN ON SILICON (100) SUBSTRATE BY HOT FILAMENT CHEMICAL VAPOR DEPOSITION

HAN LI, WANG XIAO-HUI, YU WEI, DONG LI-FANG, LI XIAO-WEI, FU GUANG-SHENG
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出版历程
  • 收稿日期:  1996-11-11
  • 刊出日期:  1997-11-20

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