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X射线衍射研究N2+注入Si

马德录 尚德颖 于锦华

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X射线衍射研究N2+注入Si

马德录, 尚德颖, 于锦华

XRD STUDY OF N2+ IMPLANTED Si

MA DE-LU, SHANG DE-YING, YU JIN-HUA
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出版历程
  • 收稿日期:  1988-07-25
  • 刊出日期:  1989-02-05

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