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直拉硅单晶原生微缺陷的观察

麦振洪 崔树范 傅全贵 林汝淦 张金福

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直拉硅单晶原生微缺陷的观察

麦振洪, 崔树范, 傅全贵, 林汝淦, 张金福

OBSERVATION ON “AS GROWN” MICRODEFECTS IN CZ SILICON SINGLE CRYSTAL

MAI ZHEN-HONG, CUI SHU-FAN, FU QUAN-GUI, LIN RU-GAN, ZHANG JIN-FU
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出版历程
  • 收稿日期:  1982-03-02
  • 刊出日期:  2005-07-21

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