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硅外延层解理面缺陷腐蚀坑的观察及初步分析

蔡田海

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硅外延层解理面缺陷腐蚀坑的观察及初步分析

蔡田海

DEFECTS ETCHING PITS OBSERVATIONS AND ANALYSES ON EPITAXIAL SILICON CLEAVAGE SURFACE

CAI TIAN-HAI
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出版历程
  • 刊出日期:  1980-01-05

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