用有限元法计算了用Rymaszewski公式测量矩形样品薄层电阻时的理论误差与探针距及其游移度、探针离开边界距离的关系;找出了实际测量时理论误差小于3%可放置直线四探针的中央区宽度,并给予实验验证.同时对利用无限系列镜像理论证明得出小矩形样品的薄层电阻测量不受样品边界和探针游移的影响的新方案提出了异议.