亚微米光栅周期的软X射线多层膜光栅的衍射效率研究 -

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亚微米光栅周期的软X射线多层膜光栅的衍射效率研究

, 1995, 44(2): 184-188.

DOI: 10.7498/aps.44.184

CSTR: 32037.14.aps.44.184

Acta Phys. Sin., 1995, 44(2): 184-188.

DOI: 10.7498/aps.44.184

CSTR: 32037.14.aps.44.184

摘要

简要叙述软x射线多层膜位相光栅的理论设计、实验制备,详细给出了在北京同步辐射装置3B1束线上对多层膜位相光栅衍射效率的测试,以及对测试结果的分析,并与理论值进行了比较.
Abstract
作者及机构信息
袁利祥,

范正修,

殷功杰,

邵建达,

易葵,

崔明启,

刘丽冰,

缪建伟,

陈光辉,

沈孝良
Authors and contacts
参考文献

施引文献

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