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STUDY ON PLASMA ETCHING OF β-SiC THIN FILMS IN SF6 AND THE SF6+O2 MIXTURES

CHAI CHANG-CHUN YANG YIN-TANG LI YUE-JIN JIA HU-JUN JI HUI-LIAN

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STUDY ON PLASMA ETCHING OF β-SiC THIN FILMS IN SF6 AND THE SF6+O2 MIXTURES

CHAI CHANG-CHUN, YANG YIN-TANG, LI YUE-JIN, JIA HU-JUN, JI HUI-LIAN
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  • Received Date:  28 July 1998
  • Published Online:  20 March 1999

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