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单室沉积非晶硅/非晶硅/微晶硅三叠层太阳电池的研究

郑新霞 张晓丹 杨素素 王光红 许盛之 魏长春 孙建 耿新华 熊绍珍 赵颖

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单室沉积非晶硅/非晶硅/微晶硅三叠层太阳电池的研究

郑新霞, 张晓丹, 杨素素, 王光红, 许盛之, 魏长春, 孙建, 耿新华, 熊绍珍, 赵颖

a-Si ∶H/a-Si ∶H/μc-Si ∶H triple junction solar cells

Zheng Xin-Xia, Zhang Xiao-Dan, Yang Su-Su, Wang Guang-Hong, Xu Sheng-Zhi, Wei Chang-Chun, Sun Jian, Geng Xin-Hua, Xiong Shao-Zhen, Zhao Ying
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  • 在产业化比较成熟的单室沉积非晶硅薄膜太阳电池基础上,进行了非晶硅/非晶硅/微晶硅三叠层太阳电池性能优化的研究.在生产线上纯单室沉积的非晶硅/非晶硅叠层太阳电池基础上,通过调节n-p隧穿结并采用自行研制开发的单室微晶硅底电池的沉积路线,获得了单室沉积的光电转换效率达到9.52%的非晶硅/非晶硅/微晶硅三叠层太阳电池.
    Low-cost triple junction solar cells, which much attention has been paid to by industry, are studied in this paper. Based on the amorphous silicon/amorphous silicon tandem solar cells realized in industry using completely single chamber deposition technique, amorphous silicon/amorphous silicon/microcrystalline silicon triple junction solar cell with 9.52% conversion efficiency is fabricated by changing deposition conditions for microcrystalline bottom solar cell and n-p junction in a single chamber developed on our own.
    • 基金项目: 国家高技术研究发展计划(批准号:2007AA05Z436, 2009AA050602)、天津市科技支撑计划(批准号:08ZCKFGX03500)、国家自然科学基金(批准号:60976051)、科学技术部国际合作计划重点项目(批准号:2006DFA62390,2009DFA62580)和教育部新世纪优秀人才支持计划(批准号:NCET-08-0295)资助的课题.
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    Bauer J, Calwer H, Marklstorfer P, Milla P, Schulze F W, Ufert K D 1993 J. Non-Cryst. Solids 164—166 685

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出版历程
  • 收稿日期:  2010-08-14
  • 修回日期:  2010-09-12
  • 刊出日期:  2011-03-05

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