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高纯硅中补偿性杂质的光热电离光谱

余晨辉 张 波 余丽波 李亚军 陆 卫 沈学础

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高纯硅中补偿性杂质的光热电离光谱

余晨辉, 张 波, 余丽波, 李亚军, 陆 卫, 沈学础

Compensating impurity in high purity silicon single crystal investigated by photo-thermal ionization spectroscopy

Yu Chen-Hui, Zhang Bo, Yu Li-Bo, Li Ya-Jun, Lu Wei, Shen Xue-Chu
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-06-16
  • 修回日期:  2007-06-27
  • 刊出日期:  2008-01-05

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