| [1] |
谭再上, 吴小蒙, 范仲勇, 丁士进. 热退火对等离子体增强化学气相沉积SiCOH薄膜结构与性能的影响.
,
2015, 64(10): 107701.
doi: 10.7498/aps.64.107701
|
| [2] |
牟宗信, 牟晓东, 王春, 贾莉, 董闯. 直流电源耦合高功率脉冲非平衡磁控溅射电离特性.
,
2011, 60(1): 015204.
doi: 10.7498/aps.60.015204
|
| [3] |
丁艳丽, 朱志立, 谷锦华, 史新伟, 杨仕娥, 郜小勇, 陈永生, 卢景霄. 沉积速率对甚高频等离子体增强化学气相沉积制备微晶硅薄膜生长标度行为的影响.
,
2010, 59(2): 1190-1195.
doi: 10.7498/aps.59.1190
|
| [4] |
刘莉莹, 张家良, 郭卿超, 王德真. 大气压等离子体辅助多晶硅薄膜化学气相沉积参数诊断.
,
2010, 59(4): 2653-2660.
doi: 10.7498/aps.59.2653
|
| [5] |
翁苏明, 盛政明, 张杰. 等离子体在任意强度的直流电场中产生电流的过程.
,
2009, 58(12): 8454-8460.
doi: 10.7498/aps.58.8454
|
| [6] |
杨杭生. 等离子体增强化学气相沉积法制备立方氮化硼薄膜过程中的表面生长机理.
,
2006, 55(8): 4238-4246.
doi: 10.7498/aps.55.4238
|
| [7] |
张晓丹, 赵 颖, 高艳涛, 朱 锋, 魏长春, 孙 建, 王 岩, 耿新华, 熊绍珍. 甚高频等离子体增强化学气相沉积制备微晶硅太阳电池的研究.
,
2005, 54(4): 1899-1903.
doi: 10.7498/aps.54.1899
|
| [8] |
于 威, 王保柱, 杨彦斌, 路万兵, 傅广生. 螺旋波等离子体化学气相沉积纳米硅薄膜的光学发射谱研究.
,
2005, 54(5): 2394-2398.
doi: 10.7498/aps.54.2394
|
| [9] |
袁行球, 李 辉, 赵太泽, 王 飞, 俞国扬, 郭文康, 须 平. 直流电弧等离子体炬的特性研究.
,
2004, 53(11): 3806-3813.
doi: 10.7498/aps.53.3806
|
| [10] |
王 淼, 李振华, 竹川仁士, 齐藤弥八. 利用微波等离子体增强化学气相沉积法定向生长纳米碳管的研究.
,
2004, 53(3): 888-890.
doi: 10.7498/aps.53.888
|
| [11] |
杨武保, 王久丽, 张谷令, 范松华, 刘赤子, 杨思泽. 丙酮环境下ECR微波等离子体辅助化学气相沉积类金刚石薄膜研究.
,
2004, 53(9): 3099-3103.
doi: 10.7498/aps.53.3099
|
| [12] |
杨恢东, 吴春亚, 赵 颖, 薛俊明, 耿新华, 熊绍珍. 甚高频等离子体增强化学气相沉积法沉积μc-Si∶H薄膜中氧污染的初步研究.
,
2003, 52(11): 2865-2869.
doi: 10.7498/aps.52.2865
|
| [13] |
于 威, 刘丽辉, 侯海虹, 丁学成, 韩 理, 傅广生. 螺旋波等离子体增强化学气相沉积氮化硅薄膜.
,
2003, 52(3): 687-691.
doi: 10.7498/aps.52.687
|
| [14] |
叶超, 宁兆元, 程珊华. 电子回旋共振等离子体增强沉积氟化非晶碳薄膜的光学性质.
,
2001, 50(10): 2017-2022.
doi: 10.7498/aps.50.2017
|
| [15] |
张永平, 顾有松, 高鸿钧, 张秀芳. 微波等离子体化学气相沉积法制备C3N4薄膜的结构研究.
,
2001, 50(7): 1396-1400.
doi: 10.7498/aps.50.1396
|
| [16] |
宁兆元, 程珊华, 叶超. 电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积a-CFx薄膜的化学键结构.
,
2001, 50(3): 566-571.
doi: 10.7498/aps.50.566
|
| [17] |
陈小华, 吴国涛, 邓福铭, 王健雄, 杨杭生, 王淼, 卢筱楠, 彭景翠, 李文铸. 射频等离子体辅助化学气相沉积方法生长碳纳米洋葱.
,
2001, 50(7): 1264-1267.
doi: 10.7498/aps.50.1264
|
| [18] |
叶超, 宁兆元, 程珊华, 康健. 微波电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积法沉积氟化非晶碳薄膜的研究.
,
2001, 50(4): 784-789.
doi: 10.7498/aps.50.784
|
| [19] |
陈光华, 卢阳华, 马国斌. 类金刚石薄膜直流电导特性研究.
,
1996, 45(4): 661-666.
doi: 10.7498/aps.45.661
|
| [20] |
张仿清, 张亚非, 杨映虎, 李敬起, 陈光华, 蒋翔六. 直流弧光放电化学气相沉积(CVD)法制备金刚石薄膜及其等离子体的光发射谱原位测量.
,
1990, 39(12): 1965-1969.
doi: 10.7498/aps.39.1965
|
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