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高能重离子注入Si中缺陷的抑制

卢武星 R.J.Schreatelkamp J.R.Liefting F.W.Saris

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高能重离子注入Si中缺陷的抑制

卢武星, R.J.Schreatelkamp, J.R.Liefting, F.W.Saris

Lu Wu-Xing, R.J.Schreatelkamp, J.R.Liefting, F.W.Saris
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出版历程
  • 收稿日期:  1994-05-09
  • 刊出日期:  1995-07-20

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