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多层溅射制备Wsix/Si薄膜的电阻率特性研究

王晓平 赵特秀 刘宏图 施一生 翁惠民 郭学哲

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多层溅射制备Wsix/Si薄膜的电阻率特性研究

王晓平, 赵特秀, 刘宏图, 施一生, 翁惠民, 郭学哲

ELECTRICAL PROPERTIES OF WSix/Si(111)FILMS BY MULTILAYER SPUTTERING

WANG XIAO-PING, ZHAO TE-XIU, LIU HONG-TU, SHI YI-SHENG, WENG HUI-MIN, GUO XUE-ZHE
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出版历程
  • 收稿日期:  1993-06-16
  • 刊出日期:  1994-05-20

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