| [1] |
谭再上, 吴小蒙, 范仲勇, 丁士进. 热退火对等离子体增强化学气相沉积SiCOH薄膜结构与性能的影响.
,
2015, 64(10): 107701.
doi: 10.7498/aps.64.107701
|
| [2] |
何素明, 戴珊珊, 罗向东, 张波, 王金斌. 等离子体增强化学气相沉积工艺制备SiON膜及对硅的钝化.
,
2014, 63(12): 128102.
doi: 10.7498/aps.63.128102
|
| [3] |
刘莉莹, 张家良, 郭卿超, 王德真. 大气压等离子体辅助多晶硅薄膜化学气相沉积参数诊断.
,
2010, 59(4): 2653-2660.
doi: 10.7498/aps.59.2653
|
| [4] |
葛 洪, 张晓丹, 岳 强, 赵 静, 赵 颖. 甚高频等离子体增强化学气相沉积大面积平行板电极间真空电势差分布研究.
,
2008, 57(8): 5105-5110.
doi: 10.7498/aps.57.5105
|
| [5] |
王叶安, 秦福文, 吴东江, 吴爱民, 徐 茵, 顾 彪. 基于电子回旋共振-等离子体增强金属有机物化学气相沉积技术生长GaMnN稀磁半导体的研究.
,
2008, 57(1): 508-513.
doi: 10.7498/aps.57.508
|
| [6] |
杨杭生. 等离子体增强化学气相沉积法制备立方氮化硼薄膜过程中的表面生长机理.
,
2006, 55(8): 4238-4246.
doi: 10.7498/aps.55.4238
|
| [7] |
张晓丹, 赵 颖, 高艳涛, 朱 锋, 魏长春, 孙 建, 王 岩, 耿新华, 熊绍珍. 甚高频等离子体增强化学气相沉积制备微晶硅太阳电池的研究.
,
2005, 54(4): 1899-1903.
doi: 10.7498/aps.54.1899
|
| [8] |
于 威, 王保柱, 杨彦斌, 路万兵, 傅广生. 螺旋波等离子体化学气相沉积纳米硅薄膜的光学发射谱研究.
,
2005, 54(5): 2394-2398.
doi: 10.7498/aps.54.2394
|
| [9] |
曾湘波, 廖显伯, 王 博, 刁宏伟, 戴松涛, 向贤碧, 常秀兰, 徐艳月, 胡志华, 郝会颖, 孔光临. 等离子体增强化学气相沉积法实现硅纳米线掺硼.
,
2004, 53(12): 4410-4413.
doi: 10.7498/aps.53.4410
|
| [10] |
杨武保, 王久丽, 张谷令, 范松华, 刘赤子, 杨思泽. 丙酮环境下ECR微波等离子体辅助化学气相沉积类金刚石薄膜研究.
,
2004, 53(9): 3099-3103.
doi: 10.7498/aps.53.3099
|
| [11] |
王 淼, 李振华, 竹川仁士, 齐藤弥八. 利用微波等离子体增强化学气相沉积法定向生长纳米碳管的研究.
,
2004, 53(3): 888-890.
doi: 10.7498/aps.53.888
|
| [12] |
杨恢东, 吴春亚, 赵 颖, 薛俊明, 耿新华, 熊绍珍. 甚高频等离子体增强化学气相沉积法沉积μc-Si∶H薄膜中氧污染的初步研究.
,
2003, 52(11): 2865-2869.
doi: 10.7498/aps.52.2865
|
| [13] |
于 威, 刘丽辉, 侯海虹, 丁学成, 韩 理, 傅广生. 螺旋波等离子体增强化学气相沉积氮化硅薄膜.
,
2003, 52(3): 687-691.
doi: 10.7498/aps.52.687
|
| [14] |
胡颖. 微波等离子体化学气相沉积方法在Si衬底上生长SiC纳米线.
,
2001, 50(12): 2452-2455.
doi: 10.7498/aps.50.2452
|
| [15] |
叶超, 宁兆元, 程珊华, 康健. 微波电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积法沉积氟化非晶碳薄膜的研究.
,
2001, 50(4): 784-789.
doi: 10.7498/aps.50.784
|
| [16] |
宁兆元, 程珊华, 叶超. 电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积a-CFx薄膜的化学键结构.
,
2001, 50(3): 566-571.
doi: 10.7498/aps.50.566
|
| [17] |
陈小华, 吴国涛, 邓福铭, 王健雄, 杨杭生, 王淼, 卢筱楠, 彭景翠, 李文铸. 射频等离子体辅助化学气相沉积方法生长碳纳米洋葱.
,
2001, 50(7): 1264-1267.
doi: 10.7498/aps.50.1264
|
| [18] |
张永平, 顾有松, 高鸿钧, 张秀芳. 微波等离子体化学气相沉积法制备C3N4薄膜的结构研究.
,
2001, 50(7): 1396-1400.
doi: 10.7498/aps.50.1396
|
| [19] |
辛 煜, 范叔平, 狄国庆, 沈明荣, 甘肇强. 微波等离子体化学汽相沉积法沉积CNx膜的研究.
,
1998, 47(1): 154-159.
doi: 10.7498/aps.47.154
|
| [20] |
魏合林, 刘祖黎. 等离子体化学气相沉积的实验与理论研究.
,
1995, 44(8): 1237-1243.
doi: 10.7498/aps.44.1237
|
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